簡(jiǎn)述電阻式真空計(jì)的設(shè)計(jì)理念
更新時(shí)間:2015-08-12
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簡(jiǎn)述電阻式真空計(jì)的設(shè)計(jì)理念
電阻式真空計(jì)是由電阻規(guī)管和測(cè)量?jī)x表單元組成。現(xiàn)以定溫式電阻式真空計(jì)為例說(shuō)明其測(cè)量原理。所謂定溫式就是利用加熱電源的自動(dòng)補(bǔ)償功能,在測(cè)量過(guò)程中保持熱絲溫度不變,也就恒定了熱絲的電阻。
在電阻式真空計(jì)電阻規(guī)管里有一個(gè)電阻隨溫度變化的熱絲,給熱絲通電發(fā)熱,若爐內(nèi)氣體較多,氣體壓力P就大,氣體分子從熱絲上傳走的熱量就多,熱絲溫度降低,熱絲電阻也就隨之減小,若取熱絲兩端電壓V或流過(guò)熱絲的電流I值作為補(bǔ)償參數(shù),加熱電源系統(tǒng)會(huì)啟動(dòng)補(bǔ)償功能,自動(dòng)提高加熱電壓或電流,使其熱絲溫度保持不變,即恒定了熱絲的電阻值。利用在一定溫度下,補(bǔ)償電壓V或電流I與氣體壓強(qiáng)P的函數(shù)關(guān)系,就可計(jì)算出氣體壓強(qiáng)(真空度)。
目前大多數(shù)智能電阻式真空計(jì)采用了*的恒功率定溫技術(shù),以及微處理器對(duì)規(guī)管的非線性線性化處理技術(shù),使得真空計(jì)具有*的穩(wěn)定性能、寬廣的有效測(cè)量范圍、極快的響應(yīng)速度、較小的零點(diǎn)/滿度漂移等特性。為適應(yīng)真空設(shè)備自動(dòng)化技術(shù),集成了繼電器觸點(diǎn)控制、串行通訊、真空模擬量輸出等擴(kuò)展功能。