真空計，又叫真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。真空計種類繁多，為了研究和使用方便，合理分類是很重要的。角度不同，分類方法也不同，在這里筆者介紹兩種常用的分類法。

　　按真空計刻度方法分類

　?。?）真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力計確定。真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān)。屬于真空計的有 U 型管壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。

　?。?）相對真空計：由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進(jìn)行刻度，必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管和用于控制、指示的測量器組成，讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計的種類很多，如熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計等。

　　按真空計測量原理分類

　　按真空計測量原理分類，可以分成直接測量真空計和間接測量真空計。直接測量真空計系直接測量單位面積上的力，屬于這類真空計的有：

　?。?）靜態(tài)液位真空計。利用 U 型管兩端液面差來測量壓力。

　　（2）彈性元件真空計。利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。

　　壓力為 10-1 Pa 時，作用在 1cm^2 表面上的力只有 10-5 N，顯然測量這樣小的力是困難的，但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于間接測量真空計的有：

　?。?）壓縮式真空計。其原理是在 U 型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增大，以便用 U 型管真空計測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。

　?。?）熱傳導(dǎo)真空計。利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

　　（3）熱輻射真空計。利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。

　?。?）電離真空計。利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨壓力變化的原理。如熱如熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

　?。?）放電管指示器。利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。

　?。?）粘滯真空計。利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

　?。?）場致顯微儀。以吸附和解吸時間與壓力的關(guān)系計算壓力。

　　（8）分壓力真空計。利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜計等。